應(yīng)用場(chǎng)景：ASML EUV光刻機(jī)晶圓臺(tái)驅(qū)動(dòng)

滾珠絲杠作用：控制晶圓臺(tái)的納米級(jí)移動(dòng)，確保曝光精度。

技術(shù)參數(shù)：

• 直徑：16mm，導(dǎo)程：2mm（微導(dǎo)程設(shè)計(jì)）

• 精度等級(jí)：C0級(jí)（定位精度±0.001mm）

• 溫控要求：±0.1℃內(nèi)（減少熱變形）

優(yōu)勢(shì)：超高精度、抗振設(shè)計(jì)，匹配激光干涉儀閉環(huán)反饋系統(tǒng)。